Rasterelektronenmikroskop Zeiss Merlin Gemini

Mit dem hochauflösenden Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop und einer energie-dispersiven Mikrobereichsanalyse (EDX) werden Untersuchungen zu Topografie und Morphologie durchgeführt.
Ein Feldemitter ermöglicht Vergrößerungen bis zu 500.000 : 1, was einer Auflösung von 0,6 Nanometern auf einer entsprechenden Probenoberfläche entspricht. Zudem können sehr niedrige Beschleunigungsspannungen gewählt werden, die eine Untersuchung nichtleitender Werkstoffe, wie z. B. biologische Proben, Kunststoffe oder Keramiken ermöglichen.
Mit insgesamt vier Detektoren werden Untersuchungen und Analysen bei Beschleunigungsspannungen von 0,1 kV bis 30 kV im Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronenkontrast durchgeführt.